[发明专利]用于高通量电学测试的方法及装置

权利要求书

1.一种用于高通量电学测试的方法，包括：

将待测样品加工成霍尔条，所述霍尔条包括主体部和设置于所述主体部的两侧并且相对设置的凸起部；

通过控制所述霍尔条的凸起部与检测装置的通断电检测所述待测样品的电学性能。

2.如权利要求1所述的方法，将待测样品加工成霍尔条之前，所述方法，还包括：

高通量制备待测样品；

对应地，所述将待测样品加工成霍尔条，具体包括：

将所述霍尔条的主体部沿着材料组分分布的方向延伸。

3.如权利要求1或2所述的方法，所述检测装置包括电源、电压表、板卡，以及设置于所述板卡的多个输入端子和多个输出端子，通过控制所述霍尔条的凸起部与检测装置的通断电检测所述待测样品的电学性能，具体包括：

将所述霍尔条的凸起部分别对应地连接至所述多个输出端子，其中所述多个输入端子分别对应地连接至所述电源和所述电压表，所述多个输出端子并联连接至所述多个输入端子中的每一个；

控制所述多个输出端子中的每一个与所述多个输入端子中的每一个之间的通断电对所述待测样品的电学性能进行检测。

4.如权利要求3所述的方法，所述霍尔条包括位于所述霍尔条的一侧的第一正凸起部、第二正凸起部、第三正凸起部和第四正凸起部，以及位于所述霍尔条的另一侧的并且与第一正凸起部、第二正凸起部、第三正凸起部和第四正凸起部顺次相对设置的第一负凸起部、第二负凸起部、第三负凸起部和第四负凸起部，所述多个输出端子包括第一输出端子、第二输出端子、第三输出端子和第四输出端子，所述多个输入端子包括第一输入端子、第二输入端子、第三输入端子和第四输入端子；所述将所述霍尔条的凸起部分别对应地连接至所述多个输出端子，其中所述多个输入端子分别对应地连接至所述电源和所述电压表，所述多个输出端子并联连接至所述多个输入端子中的每一个，具体包括：

将所述第一正凸起部、所述第四正凸起部分别对应地连接至所述第一输出端子和所述第四输出端子，所述第二输入端子和所述第三输入端子分别对应地连接至所述电压表的正极和负极，所述第一输入端子和所述第四输入端子分别对应地连接至所述电源的正极和负极，所述第一输出端子和所述第四输出端子分别对应地连接至所述第一输入端子和所述第四输入端子，将所述第二输出端子和所述第三输出端子分别对应地连接至所述第二输入端子和所述第三输入端子；

在将所述第二正凸起部和所述第二负凸起部分别对应地连接至所述第二输出端子和所述第三输出端子后测量所述第二正凸起部和所述第二负凸起部之间的霍尔电压；或者，在将所述第二正凸起部和所述第三正凸起部分别对应地连接至所述第二输出端子和所述第三输出端子后测量所述第二正凸起部和所述第三正凸起部之间的电压。

5.如权利要求4所述的方法，在将所述第二正凸起部和所述第二负凸起部分别对应地连接至所述第二输出端子和所述第三输出端子后测量所述第二正凸起部和所述第二负凸起部之间的霍尔电压；或者，在将所述第二正凸起部和所述第三正凸起部分别对应地连接至所述第二输出端子和所述第三输出端子后测量所述第二正凸起部和所述第三正凸起部之间的电压，具体包括：

将所述第一输出端子和所述第四输出端子分别对应地与所述第一输入端子和所述第四输入端子导通，同时将所述第二输出端子和所述第三输出端子分别对应地与所述第二输入端子和所述第三输入端子导通。

6.一种用于高通量电学测试的装置，包括电源、电压表、板卡，以及设置于所述板卡上的多个输出端子和多个输入端子，其中所述多个输出端子并联连接至所述多个输入端子中的每一个，所述多个输入端子分别对应地连接至所述电源和所述电压表，所述多个输出端子用于分别对应地连接至已加工成霍尔条的待测样品的凸起部，并且所述多个输出端子中的每一个和所述多个输入端子中的每一个之间设置有用于控制通断电的开关。

7.如权利要求6所述的装置，所述板卡包括开关矩阵板，所述开关矩阵板上设置有用于连接所述多个输出端子中的每一个的纵向导线和用于连接所述多个输入端子中的每一个的横向导线，所述横向导线和所述纵向导线纵横交错设置，所述开关设置于所述横向导线和所述纵向导线的交叉点。