[发明专利]图案检查方法、光掩模检查装置、光掩模的制造方法

摘要

提供图案检查方法、光掩模检查装置、光掩模的制造方法。即使在微细宽度图案中，也能稳定且高精度地进行线宽测量。向检查区域照射光，取得检查区域的透射光图像的工序；根据所取得的透射光图像，得到检查区域的光强度分布数据的工序；微分处理工序，通过对从光强度分布数据求出的光强度分布曲线进行微分处理，得到包含第1透射控制部和第2透射控制部的边界部分即第1边界、以及第2透射控制部和第3透射控制部的边界部分即第2边界的区域的光强度变化曲线；拟合工序，将得到的光强度变化曲线拟合到模型函数；以及根据拟合的结果求出第2透射控制部的尺寸的工序。