[发明专利]基板处理装置有效
| 申请号： | 202011019559.0 | 申请日： | 2020-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN112570332B | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 河原启之;菊本宪幸;内田雄三 | 申请（专利权）人： | 株式会社斯库林集团 |
| 主分类号： | B08B1/02 | 分类号： | B08B1/02;B08B1/00;B08B3/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 向勇;宋晓宝 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明能够抑制因一台分度器机械手的动作状况导致的生产量的降低。优选使用与处理区(7)的上段(UF)和下段(DF)对应的上段翻转路径单元(33)和下段翻转路径单元(35)中的靠近上段(UF)和下段(DF)的边界的搁板。这样，通过改进从一台分度器机械手向翻转路径区(31)的搬运，能够缩短一台分度器机械手在上下方向(Z)上的移动距离。因此，能够抑制因一台分度器机械手的动作状况导致的生产量的降低。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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