[发明专利]试样保持架和带电粒子束装置在审
| 申请号： | 202011012007.7 | 申请日： | 2020-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN112563102A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 岩堀敏行 | 申请（专利权）人： | 日本株式会社日立高新技术科学 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/30 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 孙明浩;崔成哲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供试样保持架和带电粒子束装置，能够抑制装置结构变得复杂，并且能够容易地变更试样的位置和姿态。试样保持架(19)具有基础部(41)、试样搭载部(42)、旋转引导部(43)、冷却载台(46)、连接部件(47)、第1支承部和固定引导部(48)。基础部(41)固定于由载台驱动机构(13)旋转驱动的载台(12)。旋转引导部(43)引导基础部(41)和试样搭载部(42)的同步旋转。冷却载台(46)对试样(S)进行冷却。连接部件(47)与冷却载台(46)连接。第1支承部支承由载台(12)旋转驱动的基础部(41)。固定引导部(48)经由第1支承部而与基础部(41)连接，并且，独立于基础部(41)而引导连接部件(47)的固定。 | ||
| 搜索关键词： | 试样 保持 带电 粒子束 装置 | ||
【主权项】：
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