[发明专利]基于静电梳驱动的硅基MEMS光开关及N×N阵列有效
| 申请号： | 202011009410.4 | 申请日： | 2020-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN112305676B | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 戴道锌;孙仪;李欢 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G02B6/35 | 分类号： | G02B6/35;G02B26/08 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林超 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于静电梳驱动的硅基波导MEMS光开关及N×N阵列。光开关主要由两个分离的交叉波导镜、静电梳驱动器两部分构成。交叉波导由两个相交的宽波导和四个绝热锥型波导构成；静电梳驱动器包括静电梳、岛簧结构、传动杆；静电梳是一对梳齿结构，通过给其中固定的梳齿加上电压，其他部分保持接地；在静电力作用下，可动梳齿向固定梳齿运动，弹簧发生形变，并通过传动杆推动可动交叉波导镜向固定交叉波导镜运动，分离的交叉波导镜重组为完整的交叉波导。本发明依靠静电梳驱动器来调控光开关的输出光路，最终实现了低损耗高消光比的2×2光开关单元及N×N阵列，具有大带宽、低损耗、高消光比、低能耗且结构简洁、控制方便、工艺简便等突出优点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 静电 驱动 mems 开关 阵列 | ||
【主权项】：
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