[发明专利]光学材料填充方法及装置在审
| 申请号： | 202010997751.0 | 申请日： | 2020-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN114093986A | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 北京芯海视界三维科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L25/16;H01L25/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100055 北京市西城区*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 光学材料填充方法及装置，方法包括：形成凹槽；在欲填充第一光学材料之外的凹槽填充掩膜材料；在凹槽中填充第一光学材料。本申请提供的方案，在一定程度上降低了光学材料的填充难度。 | ||
| 搜索关键词： | 光学材料 填充 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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