[发明专利]VCSEL激光器及其制备方法在审
| 申请号： | 202010983765.7 | 申请日： | 2020-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN114204410A | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 王朝成;田志伟 | 申请（专利权）人： | 浙江睿熙科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/042 | 分类号： | H01S5/042;H01S5/183;H01S5/187;H01S5/343 |
| 代理公司： | 上海领洋专利代理事务所(普通合伙) 31292 | 代理人： | 罗晓飞 |
| 地址： | 311113 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供一种VCSEL激光器及其制备方法。所述VCSEL激光器，包括：外延结构；形成于所述外延结构上且电连接于所述外延结构的种子金属层；形成于所述种子金属层上且电连接于所述种子金属层的第一电极，其中，所述第一电极具有贯穿地形成于其中且对应于所述氧化开孔的出光孔；设置于所述种子金属层的周围的保护层，其中，所述保护层隔离所述种子金属层于外界；以及，电连接于所述外延结构的第二电极。这样，在所述种子金属层的周围设置用于将所述种子金属层与外界相隔离的保护层，以有效地防止所述种子金属层被暴露而发生异化，从而确保所述VCSEL激光器的性能稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | vcsel 激光器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江睿熙科技有限公司，未经浙江睿熙科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010983765.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
