[发明专利]一种阻变型ZnO耐蚀薄膜及其制备方法

摘要

本发明公开一种阻变型ZnO耐蚀薄膜及其制备方法，首先制备氧化锌以及镁掺杂氧化锌的溶胶，在基底上进行喷涂之后，进行煅烧以制备出ZnO薄膜以及Mg掺杂的ZnO阻变薄膜(MgxZn1‑xO)。在本发明的技术方案中，利用阻变薄膜吸附和结合氧气的能力，大大减慢氧气向金属表面的扩散速度，从而减缓氧化的发生；而且还可通过改变Mg的掺杂浓度控制薄膜的氧空位含量获得具有不同电阻值的耐蚀薄膜。