[发明专利]一种铌酸锂和SU-8混合集成空芯光子晶体光纤陀螺有效
| 申请号： | 202010961700.2 | 申请日： | 2020-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN112097754B | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 佘玄;范文;张彩妮;陈侃;毕然;舒晓武 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01C19/72 | 分类号： | G01C19/72 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林超 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种铌酸锂和SU‑8混合集成空芯光子晶体光纤陀螺。本发明包括第一芯片和第二芯片，第一芯片的一侧和第二芯片一侧拼接形成光纤陀螺；第一芯片包括从下到上依次层叠布置的硅衬底、二氧化硅缓冲层和铌酸锂单晶薄膜，所述铌酸锂单晶薄膜上集成布置光传输系统；第二芯片包括从下到上依次层叠布置的光刻胶涂层和第二硅衬底；在光刻胶涂层上集成布置谐振腔光路。光纤陀螺中的光束在光传输系统和谐振腔光路中传导，通过探测器来检测转动信息。本发明提高了光学陀螺系统的集成度，提高光纤陀螺的可靠性和环境适应性；采用球透镜和平面分光镜组合的方式，实现将波导中的光耦合进入谐振腔的功能，实现光在腔内谐振的功能，有效降低了腔内损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铌酸锂 su 混合 集成 光子 晶体 光纤 陀螺 | ||
【主权项】：
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