[发明专利]一种硒化锌靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 202010952896.9 | 申请日： | 2020-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN112342507A | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 文崇斌;朱刘;童培云;余芳 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C30B29/48;C30B35/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种硒化锌靶材的制备方法，包括以下步骤：（1）将硒化锌晶片的边角料放在石英坩埚中，将石英坩埚装入反应器，首先向反应器中通入氮气，且使得反应器内的温度升温到800~900℃，保温第一预设时间，然后切换成向反应器中通入氧气，持续通入第二预设时间，随即切换成向反应器中通入氮气，关闭加热，随炉降温，得到原料；（2）将步骤（1）得到的原料在无水乙醇中超声清洗第三预设时间，取出，干燥得到清洗料；（3）将步骤（2）得到的清洗料破碎成细粉；（4）将步骤（3）得到的细粉进行热压，出炉，卸压脱模，即得硒化锌靶材。本发明同时涉及采用上述制备方法制备得到的硒化锌靶材，本制备方法制得的硒化锌靶材纯度和密度均较高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硒化锌靶材 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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