[发明专利]一种衬底的回收工艺在审
| 申请号： | 202010941634.2 | 申请日： | 2020-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN112054099A | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 李瑞评;曾柏翔;张佳浩;杨良;陈铭欣 | 申请（专利权）人： | 福建晶安光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 362411 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明针对外延生长完成的衬底回收时存在翘曲偏大、利用率低的问题，公开了一种调整衬底翘曲、提高利用率的方法，该方法通过在衬底外延层的另一面进行镀膜，激光聚焦在衬底内部形成改质点来调整衬底的翘曲以达到量产的标准，之后利用高温化学反应去除外延生长层，对去除外延生长层后的衬底进行清洗，去除低折射率膜，得到回收后的衬底。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 衬底 回收 工艺 | ||
【主权项】：
暂无信息
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