[发明专利]极紫外光学元件的微环境控制系统有效
| 申请号： | 202010929526.3 | 申请日： | 2020-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN112255886B | 公开（公告）日： | 2023-08-18 |
| 发明（设计）人： | 王魁波;吴晓斌;罗艳;谢婉露;韩晓泉;沙鹏飞 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 何家鹏 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请具体涉及一种极紫外光学元件的微环境控制系统，包括用于放置光学元件的真空室、分流辐射器和供气设备，分流辐射器设置在真空室内且位于光学元件上方，分流辐射器的底板朝向光学元件的反射面，分流辐射器的内部具有空腔，分流辐射器上设置有与空腔连通的进气口和多个出气口，多个出气口设置底板上；分流辐射器上设置有供光线通过的通光孔，通光孔与空腔之间不连通；供气设备包括高纯气源、供气管路和降温装置，供气管路的两端分别与高纯气源和进气口连通，降温装置设置在供气管路上以降低供气管路中的气体的温度，本申请提出的极紫外光学元件的微环境控制系统能够降低光学元件的温度，防止光学元件变形，能减少光学元件周围的污染物气体。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外 光学 元件 环境 控制系统 | ||
【主权项】：
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