[发明专利]扭矩传感器及其制造方法在审
| 申请号： | 202010920299.8 | 申请日： | 2020-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN112079327A | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 汪建平;邓登峰 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/04 | 分类号： | B81B7/04;B81C1/00;G01L3/10 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;岳丹丹 |
| 地址： | 310012*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种扭矩传感器及其制造方法，包括衬底；外延层，位于所述衬底上；多个第一掺杂区和多个第二掺杂区，分别位于所述外延层中；多个第一欧姆接触区，位于所述第一掺杂区的两端；多个第二欧姆接触区，位于所述第二掺杂区的两端；以及第一隔离结构，位于所述外延层和所述衬底中，包围所述第一掺杂区和第二掺杂区。本发明的扭矩传感器通过额外设置弯矩感测单元，同时获得扭矩感测信号和弯矩信号，采用弯矩信号对扭矩感测信号进行补偿，消除弯矩对扭矩感测信号的影响，可以提高测量的扭矩值的准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 扭矩 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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