[发明专利]基板处理装置用过滤器装置和清洁空气供给方法在审
| 申请号： | 202010916170.X | 申请日： | 2020-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN112485982A | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 田岛直树;飞松武志 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供基板处理装置用过滤器装置和清洁空气供给方法。使经由过滤器对多个并列配置的基板处理装置供给的清洁空气的温度均匀。过滤器装置具有在并列地配置的多个基板处理装置的上方设置的过滤器，该过滤器装置构成为：在所述过滤器的上方形成的管空间的在所述基板处理装置的并列方向上的一端部侧形成有空气流入口，自所述空气流入口流入的空气被在上下方向上分隔所述管空间的气流引导构件从所述气流引导构件的前面侧向所述管空间的另一端部侧引导，被引导到所述另一端部侧的空气的至少一部分向所述气流引导构件的背面侧返回，并且，该过滤器装置构成为：所述管空间内的空气经由所述过滤器向所述基板处理装置流动。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 过滤器 清洁 空气 供给 方法 | ||
【主权项】：
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