[发明专利]基板处理装置用过滤器装置和清洁空气供给方法

权利要求书

1.一种基板处理装置用过滤器装置，其具有在并列地配置的多个基板处理装置的上方设置的过滤器，其中，

该基板处理装置用过滤器装置构成为：

在所述过滤器的上方形成的管空间的在所述基板处理装置的并列方向上的一端部侧形成有空气流入口，

自所述空气流入口流入的空气被在上下方向上分隔所述管空间的气流引导构件从所述气流引导构件的前面侧向所述管空间的另一端部侧引导，

被引导到所述另一端部侧的空气的至少一部分向所述气流引导构件的背面侧返回，

并且，该基板处理装置用过滤器装置构成为：

所述管空间内的空气经由所述过滤器向所述基板处理装置流动。

2.根据权利要求1所述的基板处理装置用过滤器装置，其中，

所述基板处理装置的数量为两个，

所述气流引导构件具有从所述空气流入口延伸的导入部和俯视时自所述导入部改变角度地延伸的引导部，

至少所述引导部在俯视时位于所述一端部侧处的基板处理装置的上方的位置，

在所述管空间的另一端部侧壁面和所述引导部的终端部之间设有分隔板，该分隔板在上下方向上分隔所述管空间，且在前后方向上分隔所述管空间，将所述管空间划分为一端部侧的第1空间和另一端部侧的第2空间，

在所述分隔板的比所述引导部的终端部靠背面侧的位置形成有开口部。

3.根据权利要求1所述的基板处理装置用过滤器装置，其中，

所述基板处理装置的数量为三个以上，

所述气流引导构件具有从所述空气流入口延伸的导入部和俯视时自所述导入部改变角度地延伸的引导部，

至少所述引导部在俯视时位于所述三个以上的基板处理装置的上方的位置，

在所述引导部的终端部和所述管空间的另一端部侧壁面之间具有开口部。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的基板处理装置用过滤器装置，其中，

在所述气流引导构件的导入部和引导部中的至少一者形成有流通部，该流通部使空气从所述管空间的由所述气流引导构件形成的前面侧空间向背面侧空间流通。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的基板处理装置用过滤器装置，其中，

在所述过滤器的下侧配置有具有空气流通孔的整流板。

6.根据权利要求5所述的基板处理装置用过滤器装置，其中，

在所述过滤器和所述整流板之间形成有空间。

7.根据权利要求1～5中任一项所述的基板处理装置用过滤器装置，其中，

在所述管空间和所述过滤器之间配置有无纺布。

8.一种清洁空气供给方法，其向使用了过滤器装置的基板处理装置供给清洁空气，该过滤器装置具有在并列地配置的多个所述基板处理装置的上方设置的过滤器，其中，

使空气自在所述过滤器的上方形成的管空间的在所述基板处理装置的并列方向上的一端部侧导入所述管空间内，

利用在上下方向上分隔所述管空间的气流引导构件将所述导入的空气从所述气流引导构件的前面侧向所述管空间的另一端部侧引导，

使被引导到所述另一端部侧的空气的至少一部分向所述气流引导构件的背面侧返回，

自所述管空间的所述气流引导构件的前面侧空间和背面侧空间经由所述过滤器对所述基板处理装置的至少位于一端部侧的基板处理装置供给清洁空气。