[发明专利]化学品输送系统和消除化学品输送管路静电的方法在审
| 申请号： | 202010915729.7 | 申请日： | 2020-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN114143947A | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 邱垂翰;王青;秦红星;张玉;安建路 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | H05F3/00 | 分类号： | H05F3/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 张彬彬 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种化学品输送系统和消除化学品输送管路静电的方法，包括化学试剂输送管、储液装置和气溶胶发生装置。所述储液装置用于储存气溶胶产生溶液。所述气溶胶发生装置的输入端和输出端分别与所述储液装置和所述化学试剂输送管连通。所述储液装置中的气溶胶产生溶液进入所述气溶胶发生装置。所述气溶胶发生装置将所述气溶胶产生溶液由液态转换为气溶胶的状态。所述气溶胶进入所述化学试剂输送管内扩散，并吸附消除所述化学试剂输送管中的带电荷的离子，从而可以避免静电离子遇到易燃易爆的化学试剂发生火灾或者爆炸。 | ||
| 搜索关键词： | 化学品 输送 系统 消除 管路 静电 方法 | ||
【主权项】：
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