[发明专利]一种生产高纯三氯氢硅和四氯化硅的装置及工艺在审
| 申请号： | 202010913897.2 | 申请日： | 2020-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN112209384A | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | 高明东;李正宾;刘旭瑞;孙春凤 | 申请（专利权）人： | 郑州格矽科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京细软智谷知识产权代理有限责任公司 11471 | 代理人： | 赵洋洋 |
| 地址： | 450000 河南省郑州市高新技术产业开发区*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种生产高纯三氯氢硅和四氯化硅的装置及工艺，包括依次连接的三氯氢硅和四氯化硅合成单元、三氯氢硅和四氯化硅提纯单元、三氯氢硅和四氯化硅分离单元，三氯氢硅精制单元和四氯化硅精制单元分别与三氯氢硅和四氯化硅分离单元连接。采用本发明的装置合成过程中HCl 100％完全反应，不需要后系统的氯化氢回收装置，及副产氢气水洗处理装置，实现氢气深冷后直接回收利用，实现在线生产，不停止装置即可排出系统不反应的微硅粉，保证装置的长期稳定运行，可以实现装置的余热回收，装置中添加了干法除尘器，实现三氯氢硅装置干法除尘，消除微硅粉进入后序洗涤塔装置，消除后系统因微硅粉堵塞，保证装置的长期稳定运行。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 生产 高纯 三氯氢硅 氯化 装置 工艺 | ||
【主权项】：
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