[发明专利]一种高灵敏气压探测器在审
| 申请号： | 202010913280.0 | 申请日： | 2020-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN111998987A | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 西安柯莱特信息科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/08 | 分类号： | G01L9/08;G01L19/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 710119 陕西省西安市高新区高*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种高灵敏气压探测器，包括：管道、管壁、弹性部、二硫化钼层、电极，管道由管壁围成，管道的一端用于连接待测气压的腔室，弹性部设置在管道另一端的内部，弹性部封堵管道，弹性部与管道的截面平齐，二硫化钼层覆盖弹性部，二硫化钼层的边缘固定在管壁上，电极有两个，两个所述电极分别设置在所述二硫化钼层上所述弹性部的两侧。应用时，管道连接待测腔室，通过测量二硫化钼层的导电特性的变化实现气压探测。因为二硫化钼层的导电特性严重地依赖于其栅极电压，所以本发明具有探测灵敏度高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 灵敏 气压 探测器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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