[发明专利]一种高灵敏气压探测器

说明书

本发明提供了一种高灵敏气压探测器，包括：管道、管壁、弹性部、二硫化钼层、电极，管道由管壁围成，管道的一端用于连接待测气压的腔室，弹性部设置在管道另一端的内部，弹性部封堵管道，弹性部与管道的截面平齐，二硫化钼层覆盖弹性部，二硫化钼层的边缘固定在管壁上，电极有两个，两个所述电极分别设置在所述二硫化钼层上所述弹性部的两侧。应用时，管道连接待测腔室，通过测量二硫化钼层的导电特性的变化实现气压探测。因为二硫化钼层的导电特性严重地依赖于其栅极电压，所以本发明具有探测灵敏度高的优点。

技术领域

本发明涉及气压探测领域，具体涉及一种高灵敏气压探测器。

背景技术

气压探测器是用于测量气体绝对压强的仪器。具体地，气压探测器是一种检测装置，能够感受到被测气体的压强，并将压强转换为电信号或其他所需形式的信息输出。传统测量气体压强的方法有U形真空计和弹性变形真空计等。这些气体压强测量方法的灵敏度低。

发明内容

为解决以上问题，本发明提供了一种高灵敏气压探测器，包括：管道、管壁、弹性部、二硫化钼层、电极，管道由管壁围成，管道的一端用于连接待测气压的腔室，弹性部设置在管道另一端的内部，弹性部封堵管道，弹性部与管道的截面平齐，二硫化钼层覆盖弹性部，二硫化钼层的边缘固定在管壁上，电极有两个，两个所述电极分别设置在所述二硫化钼层上所述弹性部的两侧。

更进一步地，还包括石墨烯层，石墨烯层覆盖在二硫化钼层上，电极置于石墨烯层上弹性部的两侧。

更进一步地，墨烯层中石墨烯的层数少于10层。

更进一步地，靠近管道截面一侧，弹性部具有锥部。

更进一步地，弹性部的材料为橡胶。

更进一步地，二硫化钼层中二硫化钼的层数少于10层。

更进一步地，管道的直径不相等，连接待测气压腔室的一端，管道的直径大，在弹性部一端，管道的直径小。

更进一步地，管壁为绝缘材料。

更进一步地，管道的截面为圆形或方形。

更进一步地，电极的材料为金。

本发明的有益效果：本发明提供了一种高灵敏气压探测器，包括：管道、管壁、弹性部、二硫化钼层、电极，管道由管壁围成，管道的一端用于连接待测气压的腔室，弹性部设置在管道另一端的内部，弹性部封堵管道，弹性部与管道的截面平齐，二硫化钼层覆盖弹性部，二硫化钼层的边缘固定在管壁上，电极有两个，两个所述电极分别设置在所述二硫化钼层上所述弹性部的两侧。应用时，管道连接待测腔室，待测腔室中的气体挤压弹性部，弹性部挤压二硫化钼层，二硫化钼层产生压电效应，相当于对二硫化钼层施加了栅极电压，改变了二硫化钼层的导电特性，通过测量二硫化钼层的导电特性的变化实现气压探测。因为二硫化钼层的导电特性严重地依赖于其栅极电压，所以本发明具有探测灵敏度高的优点。

以下将结合附图对本发明做进一步详细说明。

附图说明

图1是一种高灵敏气压探测器的示意图。

图2是又一种高灵敏气压探测器的示意图。

图中：1、管道；2、管壁；3、弹性部；4、二硫化钼层；5、电极。

具体实施方式

为进一步阐述本发明达成预定目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及实施例对本发明的具体实施方式、结构特征及其功效，详细说明如下。

实施例1