[发明专利]一种高灵敏气压探测器

权利要求书

1.一种高灵敏气压探测器，其特征在于，包括：管道、管壁、弹性部、二硫化钼层、电极，所述管道由所述管壁围成，所述管道的一端用于连接待测气压的腔室，所述弹性部设置在所述管道另一端的内部，所述弹性部封堵所述管道，所述弹性部与所述管道的截面平齐，所述二硫化钼层覆盖所述弹性部，所述二硫化钼层的边缘固定在所述管壁上，所述电极有两个，两个所述电极分别设置在所述二硫化钼层上所述弹性部的两侧。

2.如权利要求1所述的高灵敏气压探测器，其特征在于：还包括石墨烯层，所述石墨烯层覆盖在所述二硫化钼层上，所述电极置于石墨烯层上所述弹性部的两侧。

3.如权利要求2所述的高灵敏气压探测器，其特征在于：所述石墨烯层中石墨烯的层数少于10层。

4.如权利要求1-3任一项所述的高灵敏气压探测器，其特征在于：靠近所述管道截面一侧，所述弹性部具有锥部。

5.如权利要求4所述的高灵敏气压探测器，其特征在于：所述弹性部的材料为橡胶。

6.如权利要求5所述的高灵敏气压探测器，其特征在于：所述二硫化钼层中二硫化钼的层数少于10层。

7.如权利要求6所述的高灵敏气压探测器，其特征在于：所述管道的直径不相等，连接待测气压腔室的一端，所述管道的直径大，在所述弹性部一端，所述管道的直径小。

8.如权利要求7所述的高灵敏气压探测器，其特征在于：所述管壁为绝缘材料。

9.如权利要求8所述的高灵敏气压探测器，其特征在于：所述管道的截面为圆形或方形。

10.如权利要求9所述的高灵敏气压探测器，其特征在于：所述电极的材料为金。