[发明专利]一种基于二硫化钼的高灵敏湿度探测器在审
| 申请号： | 202010913273.0 | 申请日： | 2020-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN112014431A | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 西安柯莱特信息科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 710119 陕西省西安市高新区高*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于二硫化钼的高灵敏湿度探测器，包括：基底、凹槽、二硫化钼层、第一电极、第二电极，在基底上设有凹槽，凹槽内设有聚酰亚胺材料，二硫化钼层覆盖聚酰亚胺材料和基底的表面，第一电极和第二电极设置在二硫化钼层上，第一电极和第二电极分别置于凹槽的两侧。应用时，本发明的湿度探测器置于待测环境中，聚酰亚胺材料吸湿膨胀，改变了二硫化钼层的导电特性，通过测量二硫化钼层导电特性的变化实现湿度探测。因为二硫化钼层的导电特性严重地依赖于其栅极电压，所以本发明具有探测灵敏度高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 二硫化钼 灵敏 湿度 探测器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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