[发明专利]一种基于二硫化钼的高灵敏湿度探测器

说明书

本发明提供了一种基于二硫化钼的高灵敏湿度探测器，包括：基底、凹槽、二硫化钼层、第一电极、第二电极，在基底上设有凹槽，凹槽内设有聚酰亚胺材料，二硫化钼层覆盖聚酰亚胺材料和基底的表面，第一电极和第二电极设置在二硫化钼层上，第一电极和第二电极分别置于凹槽的两侧。应用时，本发明的湿度探测器置于待测环境中，聚酰亚胺材料吸湿膨胀，改变了二硫化钼层的导电特性，通过测量二硫化钼层导电特性的变化实现湿度探测。因为二硫化钼层的导电特性严重地依赖于其栅极电压，所以本发明具有探测灵敏度高的优点。

技术领域

本发明涉及湿度探测领域，具体涉及一种基于二硫化钼的高灵敏湿度探测器。

背景技术

湿度控制涉及工业和农业的各个领域。因此，湿度探测非常重要。传统湿度探测的灵敏度低。探索基于新原理的湿度探测技术对提升湿度的精确控制意义重大。

发明内容

为解决以上问题，本发明提供了一种基于二硫化钼的高灵敏湿度探测器，包括：基底、凹槽、二硫化钼层、第一电极、第二电极，在基底上设有凹槽，凹槽内设有聚酰亚胺材料，二硫化钼层覆盖聚酰亚胺材料和基底的表面，第一电极和第二电极设置在二硫化钼层上，第一电极和第二电极分别置于凹槽的两侧。

更进一步地，在凹槽的上侧，二硫化钼层中设有孔洞。

更进一步地，在二硫化钼层的上方还设有第二二硫化钼层。

更进一步地，第二二硫化钼层中二硫化钼的层数少于5层。

更进一步地，在二硫化钼层的上方还设有石墨烯层。

更进一步地，石墨烯层中石墨烯的层数少于5层。

更进一步地，基底的材料为绝缘材料。

更进一步地，聚酰亚胺材料不低于所述基底的表面。

更进一步地，二硫化钼层中二硫化钼的层数少于5层。

更进一步地，第一电极和第二电极的材料为金。

本发明的有益效果：本发明提供了一种基于二硫化钼的高灵敏湿度探测器，包括：基底、凹槽、二硫化钼层、第一电极、第二电极，在基底上设有凹槽，凹槽内设有聚酰亚胺材料，二硫化钼层覆盖聚酰亚胺材料和基底的表面，第一电极和第二电极设置在二硫化钼层上，第一电极和第二电极分别置于凹槽的两侧。应用时，本发明的湿度探测器置于待测环境中，聚酰亚胺材料吸湿膨胀，挤压二硫化钼层，二硫化钼层产生压电效应，相当于对二硫化钼层施加了栅极电压，改变了二硫化钼层的导电特性，通过测量二硫化钼层导电特性的变化实现湿度探测。因为二硫化钼层的导电特性严重地依赖于其栅极电压，所以本发明具有探测灵敏度高的优点。

以下将结合附图对本发明做进一步详细说明。

附图说明

图1是一种基于二硫化钼的高灵敏湿度探测器的示意图。

图2是又一种基于二硫化钼的高灵敏湿度探测器的示意图。

图中：1、基底；2、凹槽；3、二硫化钼层；4、第一电极；5、第二电极；6、孔洞。

具体实施方式

为进一步阐述本发明达成预定目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及实施例对本发明的具体实施方式、结构特征及其功效，详细说明如下。

实施例1