[发明专利]一种基于二硫化钼的高灵敏湿度探测器

权利要求书

1.一种基于二硫化钼的高灵敏湿度探测器，其特征在于，包括：基底、凹槽、二硫化钼层、第一电极、第二电极，在所述基底上设有所述凹槽，所述凹槽内设有聚酰亚胺材料，所述二硫化钼层覆盖所述聚酰亚胺材料和所述基底的表面，所述第一电极和所述第二电极设置在所述二硫化钼层上，所述第一电极和所述第二电极分别置于所述凹槽的两侧。

2.如权利要求1所述的基于二硫化钼的高灵敏湿度探测器，其特征在于：在所述凹槽的上侧，所述二硫化钼层中设有孔洞。

3.如权利要求2所述的基于二硫化钼的高灵敏湿度探测器，其特征在于：在所述二硫化钼层的上方还设有第二二硫化钼层。

4.如权利要求3所述的基于二硫化钼的高灵敏湿度探测器，其特征在于：所述第二二硫化钼层中二硫化钼的层数少于5层。

5.如权利要求2所述的基于二硫化钼的高灵敏湿度探测器，其特征在于：在所述二硫化钼层的上方还设有石墨烯层。

6.如权利要求5所述的基于二硫化钼的高灵敏湿度探测器，其特征在于：所述石墨烯层中石墨烯的层数少于5层。

7.如权利要求1-6任一项所述的基于二硫化钼的高灵敏湿度探测器，其特征在于：所述基底的材料为绝缘材料。

8.如权利要求7所述的基于二硫化钼的高灵敏湿度探测器，其特征在于：所述聚酰亚胺材料不低于所述基底的表面。

9.如权利要求8所述的基于二硫化钼的高灵敏湿度探测器，其特征在于：所述二硫化钼层中二硫化钼的层数少于5层。

10.如权利要求9所述的基于二硫化钼的高灵敏湿度探测器，其特征在于：所述第一电极和所述第二电极的材料为金。