[发明专利]评估多通道微和/或亚波长光学投影单元的质量的方法和测试系统在审
| 申请号： | 202010909823.1 | 申请日： | 2020-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN112525490A | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 伊莎贝尔·阿格林;卡特琳·辛德勒;威尔弗里德·诺埃尔;索菲安妮·图尔诺伊斯;苏珊娜·韦斯特恩赫费尔 | 申请（专利权）人： | 苏斯微技术光刻有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G06K9/62;G06N3/04;G06N3/08;G06T7/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 谭营营;胡彬 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了一种用于评估多通道微和/或亚波长光学投影单元(28)的质量的方法。该方法包括以下步骤：对光学投影单元(28)的至少预定义部分进行照明，以便通过多通道光学投影单元(28)的预定义部分的至少两个通道来生成图像。基于对图像的分析，确定至少一个特征量，其中，该特征量的值与投影单元(28)的特性特征、投影单元(28)的缺陷和/或投影单元(28)的缺陷类别相关联。基于至少一个特征量来评估投影单元(28)的质量。此外，公开了一种用于评估多通道微和/或亚波长光学投影单元(28)的质量的测试系统(10)和计算机程序。 | ||
| 搜索关键词： | 评估 通道 波长 光学 投影 单元 质量 方法 测试 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏斯微技术光刻有限公司，未经苏斯微技术光刻有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010909823.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种认证关联性的认证方法以及安全装置
- 下一篇：一种HVAC系统
