[发明专利]一种可调谐VCSEL激光器芯片及其制造方法有效
| 申请号： | 202010883173.8 | 申请日： | 2020-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN112152077B | 公开（公告）日： | 2023-01-03 |
| 发明（设计）人： | 宋世金;汤惠淋;朱刘;刘留;苏小平;程勇 | 申请（专利权）人： | 威科赛乐微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/06 | 分类号： | H01S5/06;H01S5/026;H01S5/02;H01S5/183 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 404000 重庆*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明一种可调谐VCSEL激光器芯片及其制造方法，包括：一单晶衬底；单晶衬底正面单元，生长在所述单晶衬底正面，发射激光，包括：外延层、N‑欧姆接触层、P‑欧姆接触层、光学钝化层；单晶衬底背面单元，二次外延生长在所述单晶衬底背面，调谐所述激光波长，反馈芯片温度，依次包括倾斜外延生长的绝缘层、原子层热电堆层，所述绝缘层具有绝缘层外延倾角，所述原子层热电堆层具有原子层热电堆层外延倾角，所述原子层热电堆层外延倾角与所述绝缘层外延倾角具有第一倾角差；两电极，沿所述原子层热电堆层倾斜方向分布在所述原子层热电堆层两侧。本发明的一种可调谐VCSEL激光器芯片及其制造方法，能够同时实现波长的可调谐和温度反馈功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调谐 vcsel 激光器 芯片 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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