[发明专利]一种基于圆盘超表面结构窄带滤光的集成化光电探测器件

摘要

本发明公开了一种基于圆盘超表面结构窄带滤光的集成化光电探测器件，该探测器件结构自下而上分别为：底部电极结构，半导体层，金属薄膜层，介质层以及顶部的金属圆盘结构。其中圆盘超表面结构支持的等离激元共振模式与超表面结构‑介质层‑金属薄膜层支持的腔体模式进行共振耦合，产生选择性透射窄带光谱，结合半导体层实现可见及近红外波段的窄带光电探测特性；金属薄膜的设立有效降低了电极结构对集成化的影响，有利于多个窄带滤光纳米阵列的高度集成，并且受益于圆盘超表面结构在空间分布上呈正六边形，而不受入射光偏振态的影响。该集成化探测器具有微型化、集成化、可调谐的特征，在光电子器件及光谱成像领域具有很好的应用前景。