[发明专利]一种气体流量计有效
| 申请号： | 202010862115.7 | 申请日： | 2020-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN112179431B | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 周昌全;冯勇;杨荣中;江苏刚;黄立基 | 申请（专利权）人： | 矽翔微机电（杭州）有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/69 | 分类号： | G01F1/69;G01F1/684 |
| 代理公司： | 北京荟英捷创知识产权代理事务所(普通合伙) 11726 | 代理人： | 王献茹 |
| 地址： | 311121 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种气体流量计，涉及气体计量设备领域，为解决现有气体计量方式存在的气体贸易计量不准确的问题而设计。该气体流量计包括计量单元和通信单元，计量单元包括气体流道、MEMS传感器组件及控制模块，气体流道提供被检测气体稳定的流场；MEMS传感器组件包括均与控制模块电连接的MEMS热飞行时间传感器和可燃气体浓度传感器，MEMS热飞行时间传感器包括沿气体流动方向依次设置的第一加热元件和多个热敏元件，多个热敏元件中的至少两个至第一加热元件的距离为非整数倍关系，MEMS热飞行时间传感器被配置为测量气体的体积流量和质量流量；通信单元与控制模块电连接。本发明提供的气体流量计计量结果准确。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气体 流量计 | ||
【主权项】：
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