[发明专利]一种气体流量计

权利要求书

1.一种气体流量计，其特征在于，包括计量单元(010)和通信单元(020)；所述计量单元(010)包括气体流道(100)、MEMS传感器组件(200)及控制模块(300)，其中，所述气体流道(100)提供被检测气体稳定的流场；所述MEMS传感器组件(200)包括均与所述控制模块(300)电连接的MEMS热飞行时间传感器(210)和可燃气体浓度传感器(220)，所述MEMS热飞行时间传感器(210)包括沿气体流动方向依次设置的第一加热元件(212)和多个热敏元件，多个所述热敏元件中的至少两个至所述第一加热元件(212)的距离为非整数倍关系，所述MEMS热飞行时间传感器(210)被配置为测量气体的体积流量和质量流量，所述可燃气体浓度传感器(220)被配置为测量气体中具有燃烧值的组分浓度；所述通信单元(020)与所述控制模块(300)电连接，所述通信单元(020)被配置为输出计量数据；

所述可燃气体浓度传感器(220)包括第二基体(221)以及均设置于所述第二基体(221)的可燃气体浓度感测元件(222)、第二加热元件(223)和第二感温元件(224)，所述第二加热元件(223)和所述第二感温元件(224)均与所述控制模块(300)电连接，所述第二感温元件；所述第二感温元件(224)用于感受到气体的温度并将所述温度信号反馈，所述控制器用于对所述第二加热元件(223)的加热温度和加热功率进行控制，所述第二加热元件(223)将所述可燃气体浓度感测元件(222)升高至其反应所需温度。

2.根据权利要求1所述的气体流量计，其特征在于，所述气体流量计还包括气体缓冲室(400)，所述气体缓冲室(400)具有入口(421)和出口(422)，所述气体流道(100)设置于所述气体缓冲室(400)内，且所述气体流道(100)的出气端(140)与所述出口(422)连接并导通，所述气体流道(100)的进气端(130)延伸至所述气体缓冲室(400)内。

3.根据权利要求2所述的气体流量计，其特征在于，所述MEMS传感器组件(200)还包括载板(230)，所述MEMS热飞行时间传感器(210)和所述可燃气体浓度传感器(220)均固设于所述载板(230)，所述载板(230)插设于所述气体流道(100)，且所述MEMS热飞行时间传感器(210)位于所述气体流道(100)内，所述可燃气体浓度传感器(220)位于所述气体流道(100)外。

4.根据权利要求3所述的气体流量计，其特征在于，所述气体流道(100)呈文丘里管状，所述MEMS热飞行时间传感器(210)位于所述气体流道(100)的喉部的中心位置。

5.根据权利要求3所述的气体流量计，其特征在于，所述气体流道(100)的外壁固设有集气罩(150)，所述集气罩(150)的罩口朝向所述气体缓冲室(400)的腔室，所述集气罩(150)内形成集气腔，所述集气腔通过开口(160)与所述气体流道(100)连通，所述载板(230)插设于所述开口(160)。

6.根据权利要求5所述的气体流量计，其特征在于，所述开口(160)处设置有过滤器，所述过滤器被配置为对自所述气体流道(100)流向所述集气腔的气体过滤。

7.根据权利要求2-6任一项所述的气体流量计，其特征在于，所述气体流道(100)包括沿气体流动方向依次设置的主流道(110)和连接流道(120)，所述主流道(110)呈直管状，所述连接流道(120)呈弯管状，所述连接流道(120)用于与所述出口(422)连接；所述MEMS热飞行时间传感器(210)位于所述主流道(110)内。

8.根据权利要求7所述的气体流量计，其特征在于，所述主流道(110)内设置有流量分配器(500)，所述流量分配器(500)包括多个依次套设的同轴管(510)，且任意相邻两个所述同轴管(510)的间距不大于位于最中心位置的所述同轴管(510)的内径。