[发明专利]一种PVD真空镀膜机有效
| 申请号： | 202010854764.2 | 申请日： | 2020-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN112011759B | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 刘洪涛;夏林;智理 | 申请（专利权）人： | 宁波中骏森驰汽车零部件股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;B08B3/02;B08B3/08 |
| 代理公司： | 慈溪夏远创科知识产权代理事务所(普通合伙) 33286 | 代理人： | 陈伯祥 |
| 地址： | 315300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种PVD真空镀膜机，包括机壳，机壳内设置有工作仓和位于上方的机械部，机械部内横向设置有提拉板，提拉板底端设置有隔绝罩壁，机壳的侧壁设置有分隔环，顶板和分隔环之间具有间隙且该间隙供隔绝罩壁通过；分隔环上均匀分布设置有若干个通孔；机械部侧壁固定设置有若干个电机，电机输出端设置有齿轮且该齿轮啮合连接有竖直的齿条，该齿条固定设置于移动轨道上；移动轨道上设置有可移动的移动清洗部；隔绝罩壁的外侧壁设置有若干个喷气口，喷气口朝向工作仓的侧壁喷射热空气，移动清洗部朝向工作仓的侧壁喷射清洁液。本发明能够自动清理真空镀膜机的侧壁，并且不影响镀膜工作，既能够保证镀膜质量，又提高了效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pvd 真空镀膜 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波中骏森驰汽车零部件股份有限公司，未经宁波中骏森驰汽车零部件股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010854764.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
