[发明专利]一种晶圆储存盒卸料用压紧机构

摘要

本发明公开一种晶圆储存盒卸料用压紧机构，包括机架，所述机架的顶板上安装有提升机构，提升机构的提升板处于机架的顶板的正上方，提升板的顶面固定有横向移动机构，横向移动机构的横向移动块的顶面固定有连接板，连接板的顶面上固定有延伸连接板，延伸连接板的端部顶面固定有压紧气缸，压紧气缸的推杆穿过延伸连接板的端部底面并固定有导向板，导向板的底面中部固定有压紧支撑柱，压紧支撑柱的底面固定有防护弹性块。本发明可以将放置在放料台上的晶圆储存盒压紧，方便输送小车的安装板提升与晶圆储存盒分离，无需人工辅助拆卸，其自动化程度高，效果好。