[发明专利]阀装置以及成膜装置在审
| 申请号： | 202010847285.8 | 申请日： | 2020-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN112413151A | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 星野孝雄;相泽雄树 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | F16K3/02 | 分类号： | F16K3/02;F16K3/30;F16K3/314;F16K31/52;F16K41/10;C23C14/04;C23C14/56 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 刘杨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供阀装置以及成膜装置，阀装置的特征在于，具备：阀芯，设置在真空装置的内部；轴，一端侧与所述阀芯连结，另一端侧通过设置于所述真空装置的插通孔向外部突出，通过进退来使所述阀芯进行打开动作或关闭动作；伸缩构件，将所述插通孔和所述轴的一部分以气密状态覆盖，伴随所述轴的进退而伸缩；以及密封构件，与所述伸缩构件分体设置，在使所述阀芯进行打开动作时，能够将所述阀芯与所述插通孔之间密封。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 以及 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佳能特机株式会社，未经佳能特机株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010847285.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：废气处理装置
- 下一篇：半导体装置及其制造方法
