[发明专利]薄膜体声波谐振器及其制作方法在审
| 申请号： | 202010828582.8 | 申请日： | 2020-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN111988006A | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 黄韦胜;林瑞钦 | 申请（专利权）人： | 武汉衍熙微器件有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/13;H03H9/205;H03H9/58 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 李新干 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市江夏区经济开发区*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种薄膜体声波谐振器及其制作方法，该薄膜体声波谐振器包括依次层叠设置的衬底、第一电极、压电层和第二电极，压电层的谐振区内设有多个孔洞，孔洞在平行于衬底的方向上的截面形状与压电层中的晶体结构相适配，从而能大大减少压电层中横向声波的传输，有效避免声波能量的横向泄露。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 声波 谐振器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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