[发明专利]一种激光退火装置

摘要

本发明提供了一种激光退火装置，该激光退火装置包括：保持晶圆的载物台、向晶圆发射激光光束以对晶圆进行退火的激光器组件，晶圆具有背离载物台的第一面、以及朝向载物台的第二面。还包括设置在载物台上方的测高仪、设置在激光器组件及晶圆之间的三轴振镜系统。测高仪测量晶圆的第一面上不同位置距离测高仪设定的参考面之间的高度差变化；三轴振镜系统移动激光器组件发射出的激光光束，以调整激光光束聚焦在晶圆上的焦点位置。还包括控制装置，控制装置根据测高仪测得的高度差变化，控制三轴振镜系统将焦点保持在晶圆上距离第一面为设定深度的层结构上。使激光光束的焦点位置根据晶圆第一面的凸凹波动上下调整，提高对晶圆退火的位置准确性。