[发明专利]一种具有盘面在位测量与修整功能的抛光机有效
| 申请号： | 202010822565.3 | 申请日： | 2020-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN112157561B | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 朱祥龙;康仁科;董志刚;马堃;徐嘉慧;金洙吉 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B41/02;B24B41/04;B24B47/12;B24B47/20 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 鲁保良;李洪福 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有盘面在位测量与修整功能的抛光机，包括底座、主轴、抛光盘、支撑单元、进给单元、测量单元、修整单元和计算机；所述的进给单元、测量单元与修整单元分别安装在支撑单元上。本发明支持双工位同时抛光加工。进给单元在加工过程中可带动工件沿复杂轨迹运动，从而提高工件与抛光盘接触的均匀性，进而提高抛光精度。测量单元可在位测量抛光盘表面的面形、对抛光机的加工稳定性进行评价，从而指导抛光盘表面的修整或更换。修整单元可以在位修整抛光盘表面，使其面形精度提升，进而保证抛光机的加工精度。本发明实现抛光盘面形的在位修整，使抛光机始终保持良好的加工状态，进而保证工件的面形精度与表面质量、降低废品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 盘面 在位 测量 修整 功能 抛光机 | ||
【主权项】：
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