[发明专利]一种双色偏振非制冷红外探测器及其制作方法有效
| 申请号： | 202010801746.8 | 申请日： | 2020-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN111947789B | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 李君宇;易飞;王鹏;甘先锋;董珊;陈文礼;王宏臣 | 申请（专利权）人： | 烟台睿创微纳技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/20 | 分类号： | G01J5/20 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王晓坤 |
| 地址： | 264006 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请公开了双色偏振红外探测器及其制作方法，包括多个探测器单元，探测器单元包括四个超像元结构，超像元结构包括四个像素单元；像素单元包括基底层、第一悬空层、第二悬空层，第一悬空层包括支撑结构层和超表面吸收层，超表面吸收层位于支撑结构层的两个支撑与电连接孔之间，且超表面吸收层包括背板层、介质层、金属阵列层，金属阵列层包括多个不同尺寸的金属块，第二悬空层包括第一支撑层和线栅层；同一超像元结构中的四个线栅层具有各不相同的线栅朝向角度，位于同一对角线上的两个超像元结构中的金属阵列层相同，且两条对角线上的金属阵列层中的金属块尺寸不等，以实现对红外波段的双色偏振成像，无需制作高度不同的谐振腔，制作工艺简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 偏振 制冷 红外探测器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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