[发明专利]一种用于测量局部等离子体的光学诊断探头及其测量方法

摘要

本发明涉及一种用于测量局部等离子体的光学诊断探头及其测量方法，包括光纤探头、陶瓷套、石英芯和保护套，所述陶瓷套一端为测量端，所述陶瓷套的另一端为配合端，所述陶瓷套的内部形成有测量腔，所述陶瓷套的测量端开设有圆形通孔，待测局部位置的等离子体通过所述圆形通孔进入所述陶瓷套内部的测量腔，所述石英芯设置在所述陶瓷套的测量腔中，用于传播等离子体产生的光，同时避免射频放电在陶瓷管内部产生等离子体对测量结果的影响，所述保护套可拆卸的套设在陶瓷套配合端的外部,所述光纤探头设置在所述保护套的内部，且与陶瓷套配合端可拆卸连接，通过陶瓷套测量端的圆形通孔缩小光纤探头的测量范围，提高光学诊断的空间分辨率。