[发明专利]一种超纯水制备系统及其制备工艺在审
| 申请号： | 202010781658.6 | 申请日： | 2020-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN111777244A | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 徐海平;伍锦晖;邵阳昇 | 申请（专利权）人： | 浙江森田新材料有限公司 |
| 主分类号： | C02F9/08 | 分类号： | C02F9/08;C02F103/04 |
| 代理公司： | 杭州新泽知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33311 | 代理人： | 曾建芳 |
| 地址： | 321200 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超纯水制备系统及其制备工艺，其包括依次连接的预处理系统、脱盐系统和精处理系统，所述的预处理系统包括依次通过管路连接的自来水箱、多介质过滤塔、活性炭过滤器和一级精密过滤器，所述的脱盐系统包括依次通过管路连接的反渗透装置、反渗透水箱、紫外线杀菌器、电透析装置、抛光混床和二级精密过滤器；所述的精处理系统包括依次通过管路连接的超滤水箱、热交换器、TOC降解器和超滤器。本发明进行多级过滤，逐步提高过滤精度，大幅度提高超纯水质量，使得最终制备得到的超纯水达到PPt级别。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超纯水 制备 系统 及其 工艺 | ||
【主权项】：
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