[发明专利]一种负压吸附式转移晶舟

摘要

本发明公开了一种负压吸附式转移晶舟，包括舟体，所述舟体上成型有半圆槽道、设置在半圆槽道下方的真空腔、连通半圆槽道与真空腔的多个线性均布的矩形孔，半圆槽道内设有多个左右方向均布的隔离板，所述隔离板包括固定连接的基板和吸附板，基板和吸附板形成一个负压腔和一个向下凸起的矩形管，矩形管与负压腔相通，所述矩形管插套并固定在矩形孔内，所述吸附板上成型有多个与负压腔相通的吸附孔；所述舟体上成型有负压接头，负压接头与真空腔相通。本发明可以将晶圆吸附在隔离板的同一侧面上，可避免相邻两个晶圆之间发生碰撞，可有效避免晶圆在转移过程中的磕碰、破损。