[发明专利]铌酸盐基无铅铁电压电薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 202010750236.2 | 申请日： | 2020-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN114068799A | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 李敬锋;黄宇;刘丽莎;张素伟;舒亮;罗川;野田克敏;后藤哲 | 申请（专利权）人： | 丰田自动车株式会社;清华大学 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08;H01L41/187;H01L41/317 |
| 代理公司： | 上海和跃知识产权代理事务所(普通合伙) 31239 | 代理人： | 尹洪波 |
| 地址： | 日本国爱*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种铌酸盐基无铅铁电压电薄膜及其制备方法，属于电子信息材料技术领域。本发明以溶胶‑凝胶法在直径2英寸的基片上制备出高质量的铌酸钾钠(KNN)基压电薄膜。薄膜呈(100)择优取向的钙钛矿相，结构致密且均匀，表面粗糙度小，漏电流低，击穿场强高。溶胶‑凝胶法制备薄膜可达到原子或分子水平的均匀性，易于实现精确的成分控制和定量掺杂，并且可制备大面积薄膜，设备简单，用料省，成本低，易于实现工业化生产。制备得到的KNN基薄膜可用于制作压电微传感器、致动器、换能器等，在微机电系统(MEMS)领域具有非常广泛的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 铌酸盐基无 铅铁 压电 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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