[发明专利]一种基于光杠杆的薄膜位置与角度的检测装置及方法有效
| 申请号： | 202010749071.7 | 申请日： | 2020-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN111964580B | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 喻张俊;杨军;卢旭;庄芹芹;王云才;秦玉文 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/06;G01B11/26 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 张金福 |
| 地址： | 510062 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提出一种基于光杠杆的薄膜位置与角度的检测装置及方法，解决了现有薄膜厚度的测量方法中未考虑待测薄膜的位置与角度的检测校正的问题，本发明提出的检测装置及方法，基于光的反射原理，利用待测薄膜与光线准直器输出光之间的反射关系形成光杠杆，通过识别照射在光电位置探测器上光斑中心位置坐标的变化，实现对待测薄膜的位置及偏转角度的检测及校正，而且装置简单，易于集成，保证了薄膜厚度的测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 杠杆 薄膜 位置 角度 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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