[发明专利]用于晶圆磨削的可倾斜的主轴组件在审
| 申请号： | 202010749039.9 | 申请日： | 2020-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN111805328A | 公开（公告）日： | 2020-10-23 |
| 发明（设计）人： | 刘远航;赵德文;王江涛 | 申请（专利权）人： | 清华大学;华海清科股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;B24B27/00;B24B41/02;B24B41/06;B24B47/20;B24B49/12;B24B55/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于晶圆磨削的可倾斜的主轴组件，包括主轴、主轴座、进给机构和前后倾斜机构；所述主轴可旋转地同轴配置于主轴座中；所述主轴座包括管状的主体部及其左右两侧平行向外延伸的翼板；所述进给机构包括沿竖直方向设置的滑轨和沿滑轨竖直移动的滑块；所述翼板经由螺栓固定至所述滑块；所述前后倾斜机构包括上部垫板和下部垫板，所述上部垫板和下部垫板分别向下地和向上地插入滑块与翼板之间以通过调整所述上部垫板和/或下部垫板插入的距离调节主轴座的前后倾斜的角度，其中，所述上部垫板和下部垫板中的至少一个为楔形板。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 磨削 倾斜 主轴 组件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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