[发明专利]工件架旋转系统以及真空镀膜设备在审
| 申请号： | 202010748608.8 | 申请日： | 2020-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN111809160A | 公开（公告）日： | 2020-10-23 |
| 发明（设计）人： | 李刘合;毛迎东;孙玉强;寇淑文 | 申请（专利权）人： | 北航歌尔（潍坊）智能机器人有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 关向兰 |
| 地址： | 261000 山东省潍坊市潍坊高新区新城街道玉*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开一种工件架旋转系统以及真空镀膜设备，所述工件架旋转系统包括安装座、转动组件和驱动系统，所述转动组件设于所述安装座，所述转动组件包括用以固定待镀膜工件的自转盘，所述自转盘可沿着其自转轴可转动设置，且所述自转盘还可绕着一公转轴转动设置，所述驱动系统驱动连接于所述转动组件，所述驱动系统驱动所述自转盘绕着所述自转轴和/或所述公转轴转动，以使得所述自转盘具有单独绕其自转轴转动的自转行程、单独绕公转轴转动的公转行程、以及同时能够绕自转轴转动和公转轴转动的组合转动行程。本发明提供的技术方案能够实现对工件进行自转、公转和自转与公转同时进行的组合转动形式，以能够对工件的多个表面进行镀膜，以解决现有技术的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 工件 旋转 系统 以及 真空镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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