[发明专利]微机电系统麦克风有效
| 申请号： | 202010744147.7 | 申请日： | 2020-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN112312294B | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 陈建铭;许丰家;林文山;李新立;郭乃豪 | 申请（专利权）人： | 美商富迪科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R19/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种微机电系统麦克风，包括一基板、一背板以及一振膜。前述背板和前述振膜设置在前述基板的同一侧，且在前述振膜与前述背板之间形成有一气隙，其中前述振膜包括多个掺杂部，且前述掺杂部具有不同的平均掺杂浓度。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 麦克风 | ||
【主权项】：
暂无信息
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