[发明专利]一种有机发光显示面板及其制备方法在审
| 申请号： | 202010743089.6 | 申请日： | 2020-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN111834294A | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 孙德瑞 | 申请（专利权）人： | 山东傲晟智能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/77 | 分类号： | H01L21/77;H01L27/32;H01L23/373;H01L23/367 |
| 代理公司： | 北京华际知识产权代理有限公司 11676 | 代理人： | 叶宇 |
| 地址： | 250000 山东省济南*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种有机发光显示面板及其制备方法，该方法包括以下步骤：在衬底上依次沉积缓冲层、半导体层、栅极绝缘层、驱动栅电极以及层间介电层，接着在所述层间介电层中形成第一、第二、第三通孔，接着在所述第一、第二、第三通孔中分别形成源电极通孔、漏电极通孔以及第一金属柱，接着所述源电极通孔和所述第一金属柱之间的所述层间介电层中形成金属层，接着在所述层间介电层上形成第一平坦化层以及第二平坦化层，所述第一平坦化层中含有导热颗粒，所述第二平坦化层中含有绝热材料，接着在所述第二平坦化层上形成阳极层，接着在所述阳极层上依次形成发光层和阴极层，以形成有机发光二极管单元。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 有机 发光 显示 面板 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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