[发明专利]一种基于MOPA结构的双腔准分子激光器的光源同步控制系统有效
| 申请号： | 202010741966.6 | 申请日： | 2020-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN111952822B | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 梁勖;王晨;刘冬生;林颖;邵景珍;方晓东 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | H01S3/03 | 分类号： | H01S3/03;H01S3/10;H01S3/102;H01S3/104;G03F7/20 |
| 代理公司： | 合肥和瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 34118 | 代理人： | 王挺 |
| 地址： | 230031 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于MOPA结构的双腔准分子激光器的光源同步控制系统，其中，触发控制模块分别产生用于触发MO腔和PA腔进行放电激励的触发信号，且将MO腔和PA腔的触发信号均反馈至延时测量模块；延时测量模块根据取样得到的MO腔和PA腔的放电信号，以及根据接收得到的MO腔和PA腔的触发信号，计算MO腔的放电信号与其对应的触发信号之间的延时数据，以及计算PA腔的放电信号与其对应的触发信号之间的延时数据，并将MO腔以及PA腔的延时数据均发送至所述触发控制模块；触发控制模块根据MO腔以及PA腔的延时数据，分别产生MO腔和PA腔的下一个触发信号。本发明实现了在少量触发脉冲个数后即可获得稳定的双腔同步，满足在集成电路光刻中正常使用的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mopa 结构 准分子激光 光源 同步 控制系统 | ||
【主权项】：
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