[发明专利]一种基于MOPA结构的双腔准分子激光器的光源同步控制系统

权利要求书

1.一种基于MOPA结构的双腔准分子激光器的光源同步控制系统，其特征在于，系统包括：延时测量模块（8）、触发控制模块（9）；

所述触发控制模块（9）分别产生双腔准分子激光器（1）的MO腔的触发信号和PA腔的触发信号，分别用于触发双腔准分子激光器（1）的MO腔和PA腔进行放电激励；所述触发控制模块（9）还将所产生的MO腔的触发信号和PA腔的触发信号均反馈至所述延时测量模块（8）；

所述延时测量模块（8）分别对双腔准分子激光器（1）的MO腔所输出的光脉冲信号即放电信号和PA腔所输出的光脉冲信号即放电信号进行取样；且所述延时测量模块（8）根据取样得到的MO腔的放电信号和PA腔的放电信号，以及根据接收得到的MO腔的触发信号和PA腔的触发信号，计算MO腔的放电信号与其对应的触发信号之间的延时数据，以及计算PA腔的放电信号与其对应的触发信号之间的延时数据；

所述延时测量模块（8）将MO腔的放电信号与其对应的触发信号之间的延时数据，以及PA腔的放电信号与其对应的触发信号之间的延时数据均发送至所述触发控制模块（9）；

所述触发控制模块（9）根据MO腔的放电信号与其对应的触发信号之间的延时数据，以及PA腔的放电信号与其对应的触发信号之间的延时数据，分别产生双腔准分子激光器（1）的MO腔的下一个触发信号和PA腔的下一个触发信号；

所述延时测量模块（8）包括：第一取样电路（801a）、第二取样电路（801b）、第一光耦（802a）、第二光耦（802b）、第一测量电路（803a）、第二测量电路（803b）；

第一取样电路（801a）的输入端与双腔准分子激光器（1）的MO腔相连接，第一取样电路（801a）的输出端与第一光耦（802a）的输入端相连接，第一光耦（802a）的输出端与第一测量电路（803a）的输入端相连接，第一测量电路（803a）的输出端与触发控制模块（9）相连接；

第二取样电路（801b）的输入端与双腔准分子激光器（1）的PA腔相连接，第二取样电路（801b）的输出端与第二光耦（802b）的输入端相连接，第二光耦（802b）的输出端与第二测量电路（803b）的输入端相连接，第二测量电路（803b）的输出端与触发控制模块（9）相连接；

第一取样电路（801a）和第二取样电路（801b）分别对MO腔的放电信号和PA腔的放电信号进行取样；第一取样电路（801a）和第二取样电路（801b）将取样得到的MO腔的放电信号和PA腔的放电信号先分别送入第一光耦（802a）和第二光耦（802b）中，第一光耦（802a）和第二光耦（802b）分别对取样得到MO腔的放电信号和PA腔的放电信号进行隔离；

第一光耦（802a）和第二光耦（802b）将隔离后的MO腔的放电信号和PA腔的放电信号再分别送入第一测量电路（803a）和第二测量电路（803b）中；

所述触发控制模块（9）还将所产生的MO腔的触发信号和PA腔的触发信号分别反馈给第一测量电路（803a）和第二测量电路（803b）；

第一测量电路（803a）用于计算MO腔的放电信号与其对应的触发信号之间的延时数据，第二测量电路（803b）用于计算PA腔的放电信号与其对应的触发信号之间的延时数据；

第一测量电路（803a）包括：接收器MO-BNC、CMOS快速比较器U1、高速数字隔离器U2、D触发器U3、D触发器U4、D触发器U5、低功耗双施密特触发器逆变器U6、NPN三极管T1、NPN三极管T2、电阻R1、电阻R1、电阻R2、电阻R3、电阻R4、电阻R5、电阻R6、电容器C1、电容器C2、高精度时间测量芯片U13；

第一测量电路（803a）的电路连接方式具体如下所示：

接收器MO-BNC用于接收MO腔的放电信号，接收器MO-BNC的输出端与CMOS快速比较器U1的反相输入端相连接，CMOS快速比较器U1的正相输入端接入参考电压Vref，CMOS快速比较器U1的输出端与高速数字隔离器U2的输入端相连接，高速数字隔离器U2的输出端分别连接D触发器U3的时钟端和低功耗双施密特触发器逆变器U6的输入端，D触发器U3的输入端D端与D触发器U3的置位端相连接后接入高电平Vcc，D触发器U3的输出端Q端连接电阻R1后接入NPN三极管T1的B极，NPN三极管T1的C极分别连接电阻R2的一端和电阻R3的一端，NPN三极管T1的E极分别连接电容器C1的一端和接地端，电阻R2的另一端连接至高电平Vcc，电阻R3的另一端分别连接至电容器C1的另一端和D触发器U3的清零端，D触发器U3的输出端Q非端连接至D触发器U4的时钟端，D触发器U4的输入端D端与D触发器U4的置位端相连接后接入高电平Vcc，D触发器U4的输出端Q端连接至D触发器U5的输入端，D触发器U5的时钟端连接低功耗双施密特触发器逆变器U6的输出端，D触发器U5的输出端Q端分别连接至电阻R4的一端和高精度时间测量芯片U13的STOP1端；电阻R4的另一端接入NPN三极管T2的B极，NPN三极管T2的C极分别连接电阻R5的一端和电阻R6的一端，NPN三极管T2的E极分别连接电容器C2的一端和接地端，电阻R5的另一端连接至高电平Vcc，电阻R6的另一端分别连接至电容器C2的另一端和D触发器U4的清零端以及D触发器U5的清零端；

第二测量电路（803b）和第一测量电路（803a）的电路结构相同。