[发明专利]一种薄膜体声波谐振器及其制备方法在审
| 申请号： | 202010735229.5 | 申请日： | 2020-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN111817682A | 公开（公告）日： | 2020-10-23 |
| 发明（设计）人： | 左朋;汪洋;刘铮;丁国建;张宇超;冯琦;王海玲;杨浩军;徐文俊;王晓晖;贾海强;陈弘 | 申请（专利权）人： | 松山湖材料实验室 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/13;H03H9/17 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 付兴奇 |
| 地址： | 523000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种薄膜体声波谐振器及其制备方法，涉及薄膜体声波谐振器技术领域。薄膜体声波谐振器包括自上而下依次设置的顶电极、压电层、底电极、支撑层、空腔结构和衬底，空腔结构内设有至少两个支撑膜层以及至少两个空气层。其中，支撑膜层的声阻抗大于空气层的声阻抗，每个空气层与每个支撑膜层自上而下交替叠合，任意相邻的空气层与支撑膜层共同组成布拉格声波反射层。其不仅有效增加空腔结构的机械稳固性，同时有效提升薄膜体声波谐振器的Q值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 声波 谐振器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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