[发明专利]一种LED芯片的常温去胶方法在审
申请号: | 202010731893.2 | 申请日: | 2020-07-27 |
公开(公告)号: | CN113985712A | 公开(公告)日: | 2022-01-28 |
发明(设计)人: | 王建华;魏朝;李晓明;闫宝华 | 申请(专利权)人: | 山东浪潮华光光电子股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/42 | 分类号: | G03F7/42;H01L21/02;H01L33/48 |
代理公司: | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人: | 王素平 |
地址: | 261061 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明涉及一种LED芯片的常温去胶清洗方法。该方法包括:将待去胶清洗晶片置于常温去胶溶液中超声清洗,然后分别进行常温无水乙醇、常温丙酮清洗,再经常温异丙醇清洗后烘干,即可将芯片表面残留胶清洗干净。清洗后的芯片表面无残留胶、残留异物等表面异常,保证了芯片质量和良率。本发明方法无需加热、易操作,能耗和原材料消耗低,提高生产效率的同时也降低了产品成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 led 芯片 常温 方法 | ||
【主权项】:
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