[发明专利]大面积多层石墨烯及其制备方法有效
| 申请号： | 202010725305.4 | 申请日： | 2020-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN111847432B | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | 刘忠范;陈步航;孙禄钊;李杨立志;丁庆杰;赵振勇;梁宇;王悦晨;刘海洋 | 申请（专利权）人： | 北京石墨烯研究院;北京大学 |
| 主分类号： | C01B32/186 | 分类号： | C01B32/186 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 司丽琦;于宝庆 |
| 地址： | 100095 北京市海淀区苏家*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种大面积多层石墨烯及其制备方法，该制备方法包括：提供一基底，基底置于反应腔室；对基底加热并进行退火处理；及通入碳源，于退火处理后的基底上进行化学气相沉积反应生长石墨烯；其中，还包括在化学气相沉积反应时引入水蒸气于反应腔室，生长石墨烯时的压强为20Torr～400Torr。本发明通过在化学气相沉积生长石墨烯时，精准调控体系压强，并于特定阶段在体系内引入适量水蒸气，实现了大面积多层石墨烯的制备。该方法工艺简单、成本低，所得多层石墨烯具有层数均一、面积大等优势，对于实现多层石墨烯的进一步拓展应用具有重要意义。 | ||
| 搜索关键词： | 大面积 多层 石墨 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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