[发明专利]一种可调轨道宽度的基片传输装置及基片传输方法有效
| 申请号： | 202010723280.4 | 申请日： | 2020-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN111874624B | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 王小炜;钟莉君;赵宁波;闵宽亮;曹葵康;蔡雄飞 | 申请（专利权）人： | 苏州天准科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/91 | 分类号： | B65G47/91 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 徐颖聪 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可调轨道宽度的基片传输装置及基片传输方法，包括机箱，传送模组的基座沿着前后方向嵌入在机箱的腔体内，传送模组的基座上设置有两条平行的轨道和轨道调节组件，轨道通过轨道调节组件设置在基座上，轨道用于传输基片，轨道调节组件用于调节两条轨道之间的宽度；牵引夹爪模组安装在传送模组上，牵引夹爪模组的移动端沿着传送模组的轨道往复运动，牵引夹爪模组的上夹爪和下夹爪在电机驱动下相对运动，用于夹取或释放基片；调节模组设置在流道传送模组的基片流入端，用于调整基片进入轨道的初始位置。根据本发明实施例的基片传输装置及装置应用方法，能适应多种不同尺寸规格基片的运输，提高了工作效率，降低成本并提高自动化率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可调 轨道 宽度 传输 装置 方法 | ||
【主权项】：
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